中國環氧樹脂行業協會專家介紹說，微粉的顆粒是球狀的稱為球形硅微粉，顆粒為角狀的稱為角形硅微粉，用掃描電鏡可以清晰辨認出。硅微粉的顆粒粒徑一般在0.1～150um范圍內，中位粒徑d50=5～50，粒度分布可用激光粒度分布儀測定。硅微粉制備工藝并不十分復雜，硅微粉是由普通硅石經粉碎、純化處理，過篩分類等工序獲得角形結晶硅微粉，把它高溫熔融后噴射成球，過篩分類則得球形硅微粉，普通硅石經熔融、粉碎、純化處理、過篩分類得到角形熔融硅微粉。低a一射線硅石經相似工序可獲得低a，射線的角形或球形硅微粉；另一途徑是合成法制備低a-射線的硅微粉，方法是通過控制正硅酸乙酯、四氯化硅的水解制得球形硅微粉。